集成电路制造工艺总结

2022-12-18

总结是在项目、工作、时期后，对整个过程进行反思，以分析出有参考作用的报告，用于为以后工作的实施，提供明确的参考。所以，编写一份总结十分重要，以下是小编整理的关于《集成电路制造工艺总结》，希望对大家有所帮助。

第一篇：集成电路制造工艺总结

集成电路制造工艺实训报告

专业班级学号姓名地点老师签名

2011年12月22日

第1页

三、光刻Ⅰ—光刻扩硼窗口

工艺目的：

通过光刻工艺，完成掩膜板上的图形转移。(第一次形成基区图形，第二次形成发射区图形)

工艺原理：

通过光刻先把掩膜板上的图形转移到光刻胶上，再转移到硅片上。(第一次基区光刻，第二次发射区光刻)

工艺器件：

SC—IB型匀胶机、DHG—9023型电热恒温干燥箱、URE—2000/17型紫外光刻机、镊子、显影设备。

工艺步骤：

1、甩胶：把硅片放到涂胶机上用滴管吸取光刻胶涂到硅片上，打开抽真空开关

把硅片吸附到匀胶机上，再打开甩胶开关并以700r/min左右的转速开始甩胶约2分钟。等匀胶机停止工作，按下抽真空开关取下硅片。

2、前烘：把硅片放到100℃电热恒温干燥箱里前烘15分钟。

3、曝光：取出硅片冷却，再把硅片放到光刻机上进行紫外线曝光20秒钟。(本

实验室采用的是接近式曝光，在硅片和掩膜板之间有10um—25um的间隙，掩膜板有金黄色避光层的一面应该朝下，硅片上的主切角与掩膜板的X轴对准，以方便二次曝光)

原理：此次实验室采用的是负性光刻胶，其受紫外光照射的区域会交联硬化，

变得难溶于显影液溶剂中，显影时这部分光刻胶被保留，在光刻胶上形

成一种负相的掩膜板图形。

4、显影：在1号显影液里面显影4分钟，再放到2号显影液里面4分钟，用显

影液溶解掉不需要的光刻胶，将掩膜板上的图形转移到光刻胶上。

5、定影：是光刻胶变得更加坚固。

6、坚膜：把显影后的硅片放到130℃的电热恒温干燥箱里后烘15分钟即可。冷

却后用电子显微镜观看显影后的图形。

7、腐蚀：把镜检后的硅片放到花篮里，再放到HF酸里刻蚀5分钟，然后放到去

离子水冲洗连通器2号槽里面冲洗5分钟，再放到1号槽里面冲洗5分钟。原理：刻蚀就是将涂胶前所积淀的薄膜中没有被光刻胶覆盖和保护的部分除去，

由于Si、光刻胶具有亲水性，SiO2具有疏水性，所以观察芯片背面是否

沾水就能判断刻蚀的程度。

8、去胶：把刻蚀好的硅片放入到去胶液里面15—20分钟。(去胶液：H2SO4:

H2O2:H2O(去离子水)=3:1:任意)

光刻Ⅱ—光刻扩磷窗口

发射区光刻：同操作三，但在曝光前需要依片子和光刻板上的图形对准标记对版。光刻Ⅲ—光刻引线孔

同操作六，注意对版。

光刻Ⅳ—光刻电极图形

工艺原理：按照电路连线要求在淀积的铝层上光刻出铝条，芯片中的各个元件便

被连接成为具有某种功能的电路。

心得体会

本周实训让我更加了解集成电路,哪怕前面一个小小的失误也会影响后面的的制作,细节绝对成败,因此我们不能马虎的对待.现在只是实训.以后工作了应该更加仔细认真.实训中我们小组互相帮助,分工合作让我们明白了团队力量的强大.每次实训的不断练习,让我对操作步骤更加了解,巩固了以前的知识.

第二篇：机械制造工艺总结

《机械制造工艺学》小论文

一、前言

机械制造工艺是各种机械的制造方法和过程的总称。它包括零件的毛坯制造、机械加工、热处理和产品的装配等，内容十分广泛。然而机械制造工艺学则是以机械加工和产品装配过程的工艺问题为主要研究对象的一门应用性技术科学。本书我们学习了机械加工精度，机械加工表面质量，工艺规程的制订，尺寸链，精密加工与光整，回转体零件加工，其他零件加工，齿形加工和现在制造技术等内容。注重适用性和能力的培养，加强了尺寸链、工艺规程的制订、表面的精密加工与光整加工、各类典型零件与齿形表面的加工工艺和方法等内容。机械制造工业担负着为国民经济各个部门提供各种机械装备的任务，在国民经济中具有十分重要的地位和作用。将原材料转变为成品的全过程叫做生产过程，一种机械产品的生产过程往往是由许多工厂共同协作来完成的，工厂的生产过程又可分为各个车间的生产过程：使各种原材料，半成品成为产品的方法和过程，称为工艺。它提供的装备水平对国民经济各部门的技术进步有很大，直接的影响，其规模和水平是反应国民经济实力和科学技术水平的重要要标志。

二. 现代生产制造系统及制造技术的展望

现代科学技术的飞速发展，已经改变了或正在改变着制造技术的传统面貌。制造技术的内涵不断地扩展，它与当代最新科技成果不断地交叉、融合，已经形成了“现代制造技术”的全新概念。作为制造技术的最新进展与展望，下面总结了几项目前正在研究的热点技术。

1. 并行工程技术

并行工程这一概念是80年代中期首先由美国提出的。所谓并行工程技术，就是一体化和并行的设计产品及其各种相关过程的系统化工作模式，它要求产品开发人员在设计一开始就考虑生周期的所有因素，包括质量、成本、工作进度和用户要求等。其宗旨是改善设计与制造间的信息交流，打破以往设计、试验、生产的串行环节，引进动态并行机制，讲产品生产中的各种因素进行有机综合、并行处理，将产品设计。生产计划、加工、检测和市场分析等同步进行，从而缩短技术的生产准备周期，使产品能按用户的要求以最快的速度供应市场。

2. 精益生产

精益生产的主导思想是以“人”为中心，以“简化”为手段，以“尽善尽美”为最终目标。因此，精益生产的体电视：

(1)强调人的作用，以人为中心，工人是企业的主人，身缠工人在生产中享有充分的自主权。所有工作人员都是企业的终身雇员，企业把雇员看做是比机器更重要的国定资产，强调职工创造性的发挥。

(2)以“简化”为手段，去除生产中一切不增值的工作，简化组织结构，建华与写作长的关系，简化产品的开发过程、生产过程及检验过程，减少非生产费用，强调一体化的质量保证。

(3)精益求精，以“尽善尽美”为最终目标。持续不断地改进生产，降低成本，力求无废品、无库存和产品品种多样化。时期也能以具有最有质量和最低成本的产品，对市场需求做出最迅速的影响。

精益生产不仅实时信息与自动化设备的集成，还把整个企业作为一个大系统来统筹考虑。其主要技术基础是成组技术、并行工程和TQCS等，其核心是对技术和生产的全名的科学管理。他取得成功的秘诀是充分发挥人的积极因素和能力，消除一切无用喝不起增值作用的环节，以尽善尽美的产品供应用户。

3. 敏捷制造

敏捷制造是美国于90年代初期为提高其铲平在国际、国内市场的竞争力而提出的一种新的生产模式。目前较为权威的定义是：敏捷制造是一种结构，在这个结构中，没一个公司都能开发自己的产品并实施自己的经营战略。构成这个结构的基石是三种基本资源：有创新精神的管理机构和组织，有技术、有知识的高素质人员和先进制造技术。制造的敏捷救援与上述三种资源的有效集成。它将柔性生产技术。熟练掌握生产技能和有知识的劳动力与促进企业内部和企业之间相互合作的灵性管理集成在一起，通过所建立的共同的基础结构，队迅速改变或无法预见的消费者需求和市场变化作为初快速反应。

目前敏捷制造还只是一个设想，因为要真正实施敏捷制造就必须解决以下两个放米娜的困难：

(1)国家范围内甚至国与国之间的工业制造信息网的建立。

(2)怎样才能做到企业间的充分信任与合作。

从技术上讲，这项技术是可行的，他将制造系统的概念扩展到相关的企业间，将制造过程由“技术推进”变为“需求牵引”。它所提出的一系列思想核心概念将会是制造业产生根本性的变化，促进制造技术的发展，进而对人类社会的生产长生深远的影响。

4. 智能制造

智能制造是指在制造生产的各个环节中，以一种高度柔性和高度集成的方式，通过计算及模拟人类专家的智能活动，使系统可以效仿人类进行分析、判断、推理、构思和劳动，从而取代或延伸制造环境中人的部分脑力劳动，并对人类专家的制造智能进行收集、存储、完善、共享、继承和发展。因此，智能制造系统能自动监控其运行状态，在受外界或内部及激励时能自动调节其运行参数，以得到最佳状态，从而使系统具有自组织能力。

制造技术的智能化研究，已经成为当代制造技术发展得个重要方向。对智能制造技术的研究一般可分为三个层次，几单元的加工过程的智能化、工作站控制的智能化和在CIMS基础上的智能化。

智能制造技术在西方工业发达国家仍处于概念研究和试验研究阶段。我国也已经开始开展人工智能再制造领域中应用的研究工作。

5. 纳米技术与微型机械

现代制造技术正在向所谓的加工极限发起有力的挑战。以纳米技术为代表的超精密加工技术何以微细加工为手段的微型机械技术，代表了当今精密工程的前沿和方向。

纳米技术是一种操纵原子、分子或原子团、分子团，使其形成所需要的物质或原器件的技术。这种加工已经深入到物质的微观领域，某些物理量的转换是以最小单位—量子跳跃式进行的，而不是连续的，因此超精密加工将以量子力学为基础发展。目前，美国、日本等国已利用电子扫描隧道技术成功地实现了原子的挪移，并正向着工程实用化发展。目前，能实现原子级纳米加工的技术有多种，如离子束加工、电子扫描隧道技术、酸蚀法等。

纳米技术和微型机械是近年来发展起来的高新技术，具有极强的生命力，已经开始应用与机械工程、生物工程、海洋工程、宇航工程及医疗技术等方面。因此，国外有人将纳米技术与微型机械称为“21世纪的核心技术”。

第三篇：模具制造工艺重点总结

模具的制造基本要求是什么?

① 制造精度高

② 使用寿命长③ 制造周期短 ④ 模具成本低。

模具生产过程与工艺过程 1生产技术准备过程 2毛胚的制造过程

3零件的各种加工过程 4产品的装配过程 5各种生产服务活动

模具机械加工工艺过程的组成 1工序

2工步与走刀 3安装与定位工艺基准

⑴工序基准、 ⑵ 定位基准、⑶ 测量基准、 ⑷装配基准

减少残余应力的措施

1增加消除内应力的处理程序如对铸锻焊接进行退火或者回火零件淬火后回火对精度高的零件粗加工后进行时效处理 2合理安排工艺过程

3改善零件结构提高零件的刚性使壁厚均匀

表面强化工艺喷丸滚压挤压

结构上主要多了由一对相互垂直的精密丝杆螺母组成的十字托板部分，该部分可带动工件相对于夹具主轴沿x轴 y轴两方向移动从而使工件上不同的回转中心分别与夹具主轴重合磨出复杂曲面上各部分圆弧面二次放电

二次放电是因为工件表面的碳渣(碳精)不能及时去除，附着在零件表面，电火花与碳渣之间产生放电现象，主要是因为冲油不稳定，排渣不良，加工面积较大，设备性能不稳定所导致的，它的现象为出现明显的火花，发出刺耳的声音。如不及时清理附着在工件表面的碳渣会导致零件电弧放电。二次放电主要会导致放电间隙不稳定，工件表面出现凹坑，局部面粗度较粗(面粗度不均匀)可能导致加工出的零件不良率增加。

脉冲电源

也成为电脉冲发生器作用是输出具有足够能量的单脉冲电流产生火花放电来蚀除金属

工作液的作用

其作用是排除电火花加工过程中产生的电蚀产物，提高电蚀过程的稳定性和加工速度，减少电极损耗确保加工精度和表面质量极性效应现象

电火花加工过程中正极和负极的表面虽然都受到电腐蚀但其蚀除量不相等的的这种由于正负极不同而导致材料蚀除量不同的现象叫电极的结构形式整体式镶拼式多电极工艺方法

单电极平动加工法多电极加工法分解电极法

电火花线切割的原理和特点

线切割加工是线电极电火花加工的简称，是电火花加工的一种。电火花线切割加工是利用金属丝(钼丝﹑钨钼丝)与工件构成的两个电极之间进行脉冲火花放电使金属融化或气化并通过冷却液把融化或气化的金属去掉

1不需要制作专用电极，电极可反复使用，生产成本低节约电极制造时间 2 电极丝直径可至0.04mm左右，加工复杂形状的工件，

3 加工精度高 ra1.6-0.8um 4 生产率高易于实现现代化。 5 加工过程大都不需要电规准转换 6 不能加工盲孔类及阶梯成型表面编程实例

电化学加工原理分类阳极溶解法阴极沉积法复合加工法

凹凸模的设计要求及技术要求 1结构合理

高的尺寸精度行位精度表面质量和刃口锋利足够的刚度和强度良好的耐磨性一定的疲劳强度 2尺寸精度表面质量位置精度表面粗糙度硬度

型腔的加工方法

1通用机床加工 2仿形铣床加工 3型腔加工新工艺 1型腔冷加工 2电加工 3精密铸造法

压铸模的装配

1镶件与模块一般采用H

7、f6 配合必须保证零件紧密配合 2安装导柱导套保证垂直度

3手工抛光动模定模镶件的成型表面型芯的表面浇道进料口排气槽溢料槽表面其中型芯和型腔表面及浇道ra=0.2-0.1um 4装配

5检查用硫酸塑料石蜡进行浇注取出铸件后测量铸件尺寸判断型腔精度 6试模

模具装配的工艺方法完全互换法装配法调整法

冷冲模的装配顺序

(1)无导向装置的冲压模具。由于凹凸模的间隙是在模具安装到机床上进行调整的故上下模的装配顺序没有严格要求可以按上下模分别进行装配

2 有导向装置的冲模装配前要先选择基准件如导板凹，凸模凹凸模在装配时先装基准件再按基准件装配有关零件然后调整凸凹模间隙使其保证间隙均匀而后再装其他辅助零件如果凹模是安装在下模上的一般先装下模再以下模为基准安装上模较为方便

3有导柱的复合模。一般先装上模再借助上模的冲孔凸模及落料凹模孔找正下模凸凹模的位置及调整好间隙固紧下模 4 上下模工作零件是分别装入上下模板窝座的导柱模此时分别按图样要求把零件装入上下窝座内后在坐标镗床上分别以上下模工作零件刃口为基准件镗上下模座的导柱导套孔或者将组装好的上下模合模调整凹凸模间隙均匀后紧固然后再合镗导柱和导套孔

5导柱的连续模。为了便于调整准确步距在装配时先将凹模拼装入下模板后再以凹模为基准件安装下模部分

塑料模的装配顺序边加工便装配

过盈配合的零件装配

过盈配合零件装配后应该紧固不允许有松动脱出为保证装配质量应适当的过盈量和较小的粗糙度值而且压入斜度应做得准确

薄壁精密件除上述外还要压入边检查压入后必须检查内孔尺寸如有缩小应修磨到规定尺寸也可压入后进行精加工试模时

原则上选择在低压低温和较长时间的条件下成型然后按压力时间温度这样的先后顺序变动

第四篇：机械制造工艺学总结

学院：机电工程学院

机械制造工艺学学习报告

班级：13机械本2 姓名：黄

宇学号：20130130815

机械制造过程是机械产品从原材料开始到成品之间各相互关联的劳动过程的总和。它包括毛坯制造、零件机械加工、热处理、机器的装配、检验、测试和油漆包装等主要生产过程，也包括专用夹具和专用量具制造、加工设备维修、动力供应(电力供应、压缩空气、液压动力以及蒸汽压力的供给等)。

工艺过程是指在生产过程中，通过改变生产对象的形状、相互位置和性质等，使其成为成品或半成品的过程。机械产品生产工艺过程又可分为铸造、锻造、冲压、焊接、机械加工、热处理、装配、涂装等。其中与原材料变为成品直接有关的过程，称为直接生产过程，是生产过程的主要部分。而与原材料变为产品间接有关的过程，如生产准备、运输、保管、机床与工艺装备的维修等，称为辅助生产过程。

主要包括机械加工工艺规程的制订、机床夹具设计原理、机械加工精度、加工表面质量、典型零件加工工艺、机器装配工艺基础、机械设计工艺基础、现代制造技术及数控加工工艺等部分。

机械制造工艺学的研究对象是机械产品的制造工艺，包括零件加工和装配两方面，其指思想是在保证质量的前提达到高生产率、经济型。课程的研究重点是工艺过程，同样也包括零件加工工艺过程和装配工艺过程。工艺是使各种原料、半成品成为产品的方法和过程。

各种机械的制造方法和过程的总称为机械制造工艺

工艺系统：在机械加工时，机床、夹具、刀具和工件构成的一个完整的系统。研究加工精度的方法：单因素分析法、统计分析法

加工表面质量：加工表面的几何形貌和表面层材料的力学物理和化学性质几何形貌：表面粗糙度表面波纹度纹理方向表面缺陷。表面材料力学的物理化学性能：表面层金属的冷作硬化、表面层金属金相组织变化。冷作硬化：机械加工中因切削力产生的塑性变形使表层金属硬度和强度提高的现象。

机械加工工艺规程是规定产品或零部件机械加工工艺过程和操作方法等的工艺文件，是一切有关生产人员都应严格执行、认真贯彻的纪律性文件

机械加工工艺规程的作用

1根据机械加工工艺规程进行生产准备(包括技术准备)

2.机械加工工艺规程是生产计划、调度，工人的操作、质量检查等的依据 3.新建或扩建车间，其原始依据也是机械加工工艺规程

机械加工工艺规程的设计原则：

(1)可靠地保证零件图样上所有技术要求的实现 (2)必须能满足生产纲领要求

(3)在满足技术要求和生产纲领要求前提下，一般要求工艺成本最低

(4)尽量减轻工人的劳动强度，保障生产安全。

通过对机械制造工艺学的学习我对我们机械设计制造及其自动化这个专业有了更深一步的理解，知道了工件的装夹与夹具的基础、机械工艺规程的制定典型模具与机械零件加工工艺、装配工艺、还有刀具的相关知识。使我受益匪浅。

第五篇：机械制造工艺学重点总结

第一章

机械制造工艺学的研究对象是机械产品的制造工艺，包括零件加工和装配两方面，其指导思想是在保证质量的前提达到高生产率、经济型。课程的研究重点是工艺过程，同样也包括零件加工工艺过程和装配工艺过程。工艺是使各种原料、半成品成为产品的方法和过程。各种机械的制造方法和过程的总称为机械制造工艺。

一、绪论

机械制造技术有两方面的含义：其一是指用机械来加工零件(或工件)的技术，更明确的说是在一种机器上用切削方法来加工，这种机器通常称为机床、工具机或工作母机;另一方面是指制造某种机械的技术，如汽车、涡轮机等。

广义制造论的形成过程

一、制造设计一体化

制造技术发展阶段：手工业生产阶段、大工业生产阶段、虚拟现实工业生产阶段

二、材料成形机理的扩展

1去除加工：又称分离加工，是从工件上去除一部分材料二成形

2结合加工：是利用物理和化学的方法将相同材料或不同材料结合在一起而成形，是一种堆积成形，分层制造方法。按结合机理和结合强度分为附着、注入和连接三种

3变形加工：又称流动价格，是利用力，热，分子运动等手段使工件产生变形，改变其尺寸形状和性能，如锻造、铸造等。

三制造模式的发展

第二节

机械产品生产过程：是指从原材料开始到成品出厂的全部劳动过程，包括直接生产过程和辅助生产过程

直接生产过程：使被加工对象的尺寸、形状和性能产生一定的变化，即与生产过程有直接关系的劳动过程。包括毛坯的制造，零件的机械加工和热处理，机器的装配、检验、测试和涂装等主要劳动过程。

辅助生产过程：不是使加工对象产生直接变化，但也是非常必要的劳动过程。包括专用工具、夹具、量具和辅具的制造、机器的包装、工件和成品的储存和运输、加工设备的维修，以及动力(电、压缩空气、液压等)供应等辅助劳动过程。

机械加工工艺过程的概念:采用各种机械加工方法，直接用于改变毛坯的形状、尺寸、表面质量和力学物理性能，使之成为合格零件的生产过程。

机械加工工艺过程的组成

机械加工工艺过程由一个或若干个顺序排列的工序组成，工序又分为安装、工位、工步和走刀。

1)工序

由一个(或一组)工人在同一台机床或同一个工作地，对一个(或同时对几个)工件所连续完成的那一部分机械加工工艺过程。

2)安装

在一道工序中，工件每经一次装夹后所完成的那部分工序内容称为一个安装。

3)工位

一次安装，工件在机床上占据每一个加工位置所完成的那部分安装称为工位。一个安装中可能只有一个工位，或者多个工位。

4)工步

指在加工表面不变、切削刀具不变的情况下所连续完成的那部分工序。若有几把刀具同时参与切削，该工步称为复合工步。复合工步主要是为了提高加工效率。

(5)走刀:切削刀具在加工表面上切削一次所完成的工步内容，称为一次走刀。一个工步可包括一次或数次走刀。当需要切去的金属层很厚，不能在一次走刀下切完，则需分几次走刀。走刀次数又称行程次数。

生产纲领:企业在计划期内应当生产的产品数量和进度计划称生产纲领。零件的年生产纲领指包括备品和废品在内的年产量。

N = Q n(1+α% +β% )

式中N — 零件的年生产纲领(件/年);Q — 产品年产量(台/年);

n — 每台产品中该零件数量(件/台);α% — 备品率;β% — 废品率。

生产批量:生产批量是指一次投入或产出的同一产品或零件的数量。

生产类型

根据生产纲领和生产的专业化程度不同，主要分为：大量生产、成批生产和单件生产三种生产类型。其中，成批生产又可分为大批生产、中批生产和小批生产。

工件的装夹

装夹又称安装，包括定位和夹紧两项内容。

定位 — 使工件在机床或夹具上占有正确位置的过程。

夹紧 — 对工件施加一定的外力，使其已确定的位置在加工过程中保持不变。

工件在机床或夹具中的装夹方法主要有三种。

①夹具中装夹②直接找正装夹③划线找正装夹

定位原理(看书)

基准

1、设计基准：设计者在设计零件时，根据零件在装配结构中的装配关系和零件本身结构要素之间的相互位置关系，确定标注尺寸的起始位置，这些起始位置称之为设计基准。

2.工艺基准：零件在加工工艺过程中所用的基准。可分为工序基准、定位基准、测量基准和装配基准。

工序基准：在工序图上用来确定本工序所加工表面加工后的尺寸、形状和位置的基准。定位基准：在加工时用于工件定位的基准。

测量基准：工件测量时所用的基准。

装配基准：零件装配时所用的基准。

第二章

工艺系统：在机械加工时，机床、夹具、刀具和工件构成的一个完整的系统。

研究加工精度的方法：单因素分析法、统计分析法

一、加工原理误差：采用近似的成形运动或近似的切削刃轮廓进行加工而产生的误差。

二、调整误差

三、机床误差

1、机床导轨的导向误差

(1)导向误差

1.导向精度

导轨在水平面内的直线度;导轨在垂直面内的直线度;前后导轨的平行度;导轨对主轴回转轴线的平行度

(2)回转误差：是指主轴实际回转轴线对其理想回转轴线的漂移。包括

1、径向圆跳动。

2、轴向圆跳动。

3、倾角摆动。

影响主轴回转精度的主要因素：轴承的误差、轴承的间隙、与轴承配合零件的误差、主轴系统的径向不等刚度和热变形，引起回转轴线的漂移。

提高主轴回转精度的措施：

提高主轴部件的制造精度;对滚动轴承进行预紧;使主轴的回转误差不反应到工件上减少传动链传动误差的措施

1.传动件数越少，传动链越短，传动精度越高

2.采用降速传动3.提高传动链末端件的精度4.采用校正装置

四、家具的制造误差与磨损

五、刀具的制造误差与磨损

刀具误差对加工精度的影响

1.采用定尺寸刀具加工时，刀具的尺寸精度直接影响工件的尺寸精度

2.采用成形刀具加工时，刀具的形状精度直接影响工件的形状精度

3.展成刀具的切削刀形状必须是加工表面的共轭曲线。因此切削刃的形状误差会影响加工表面的形状精度

4.对于一般刀具，其制造精度对加工精度无直接影响，但易磨损

残余应力：也称内应力，是指在没有外力作用下或去除外力后工件内残留的应力产生原因：毛坯制造和热处理过程中产生的残余应力;冷校直带来的残余应力

切削带来的残余应力

工艺系统的热源:

内部热源：切削热和摩擦热，产生于工艺系统内部，主要以热传导形式传递

外部热源：工艺系统外部的、以对流传热为主要形式的环境温度和各种热辐射

热传递方式：导热传热、对流传热、辐射传热

加工误差的性质

1、系统误差：在顺序加工一批工件中，其加工误差的大小和方向都保持不变，或者按一定规律变化，统称为系统误差。前者称为常值系统误差，后者称为变值系统误差。加工原理误差，机床等的制造误差等与时间无关，其大小在一次调整中也基本不变，因此都属于常值系统误差。机床、刀具等在热平衡前的热变形误差，刀具等的磨损等属于变值系统误差。

2、随机误差：在顺序加工的一批工件中，其加工误差的大小和方向的变化时属于随机性的，称为随机误差。

分布图分析法的应用：判别加工误差的性质;确定工序能力及其等级;估算合格品率或不合格品率

分布图分析法的缺点在于：没有考虑一批工件加工的先后顺序，故不能反映误差变化的趋势，难以区别变值系统误差和随机误差的影响;必须等到一批工件加工完毕之后才能绘制分布图，因此不能再加工过程中及时提供控制精度的信息。

保证和提高加工精度的途径：误差预防;误差补偿

误差预防技术：合理采用先进工艺与设备;直接减少原始误差;转移原始误差;均分原始误差;均化原始误差

误差补偿技术：在线检测;偶件自动配磨;积极控制起决定作用得到误差因素

第三章

加工表面质量：加工表面的几何形貌和表面层材料的力学物理和化学性质

几何形貌：表面粗糙度表面波纹度纹理方向表面缺陷。

表面材料力学的物理化学性能：表面层金属的冷作硬化、表面层金属金相组织变化。冷作硬化：机械加工中因切削力产生的塑性变形使表层金属硬度和强度提高的现象。评定指标：表层金属的显微硬度HV、硬化层深度h、硬化程度N

加工表面质量对机器零件使用性能的影响：

表面质量对耐磨性影响：1表面粗糙度值越小耐磨性越好，表面波纹度越大粗糙度越大。2圆弧状凹坑状表面纹理耐磨性好，尖峰状表面纹理耐磨性差。

3加工表面冷作硬化提高耐磨性能。

表面质量对耐疲劳性影响：1表面粗糙度值越小表面缺陷越少耐疲劳性越好。2 冷作硬化组织疲劳裂纹生长提高零件耐疲劳强度。

表面质量对耐腐蚀性影响：1表面粗糙度值越大耐蚀性越差。2 表面残余压应力有利于提

高表面抗腐蚀能力。

表面质量对零件配合质量影响：1.对于间隙配合表面，其实磨损最显著零件配合表面的起

始磨损量与表面粗糙度的平均值成正比增加。表面粗糙度越大变量越大影响配合稳定性。2.对于过盈配合表面粗糙度越大两表面相配合时表面凸峰易被挤掉使过盈量减少。3 对于过度配合兼有上述两种配合影响。切削速度V=20~50m/min时表面粗糙度最大容易出现积瘤。

表面粗糙度测量：1比较法2触针法3光切法4干涉法

磨削烧伤：对于已淬火的钢件，很高的磨削温度使表面层金属金相组织产生变化，使表层金

属硬度下降，使工件表面呈现氧化膜颜色。

减少磨削烧伤工艺途径：1正确选择砂轮2合理选择磨削用量3改善冷却条件4选择开槽砂

轮

表面强化工艺 1喷丸强化2滚压加工

机械加工中的振动主要有强迫振动和自激振动

强迫振动是由于外界周期性干扰力的作用而引起的振动

机内振源主要有机床旋转的不平衡、机床传动机构的缺陷、往复运动部件的惯性力级切削过

程中的冲击力

特征：其振动频率与干扰力的频率相同，或是干扰力频率的数倍

自激振动：机械加工过程中，在没有周期性外力作用下，由系统内部激发反馈产生的周期性

振动。

自激振动的特征：是在没有外力干扰下产生的振动运动，这与强迫振动有本质的区别;自激

振动的频率接近系统的固有频率，这就说明颤振频率取决于振动系统的固有特性。这与自由振动相似但不相同。自由振动受阻尼作用将迅速衰减，而自激振动却不因为有阻尼存在而迅速衰减。

消除强迫振动的条件：减小机内外干扰力的幅值;适当调整振源的频率;采用隔振措施消除自激振动的条件：减小前后两次切削的波纹重叠系数;调整振动系统小刚度主轴的位置;

增加切削阻尼;采用变速切削方法加工

提高工艺系统的稳定性：提高工艺系统刚度;增大工艺系统的阻尼

减振装置：动力减振器;摩擦减振器;冲击式减振器

第四章

机械加工工艺规程是规定产品或零部件机械加工工艺过程和操作方法等的工艺文件，是一切

有关生产人员都应严格执行、认真贯彻的纪律性文件

机械加工工艺规程的作用

1.根据机械加工工艺规程进行生产准备(包括技术准备)

2.机械加工工艺规程是生产计划、调度，工人的操作、质量检查等的依据

3.新建或扩建车间，其原始依据也是机械加工工艺规程

机械加工工艺规程的设计原则：(1)可靠地保证零件图样上所有技术要求的实现(2)必须

能满足生产纲领要求(3)在满足技术要求和生产纲领要求前提下，一般要求工艺成本最低(4)尽量减轻工人的劳动强度，保障生产安全。

步骤内容：(1)阅读装配图和零件图(2)工艺审查(3)熟悉或确定毛坯(4)拟定机械加工

工艺路线(5)确定满足各工序要求的工艺装备对需要改装或重新设计的专用工艺装备

应提出具体设计任务书(6)确定各主要工序的技术要求和检验方法(7)确定各工序的加工余量，计算工序尺寸和公差(8)确定切削用量(9)确定时间定额(10)填写工艺文件。

工艺路线的制定、主要问题、定位基准的选择、

粗基准的选择：使用未经机械加工时的表面作为定位基准。&原则：(1)保证相互位置要求

的原则(2)保证加工表面加工余量合理分配的原则(3)便于工件装夹原则(4)粗基准一般不得重复使用的原则。

精基准的选择：使用机械加工表面作为基准。&原则：(1)基准重合原则(2)统一基准原则

(3)互为基准原则(4)自为基准原则(5)便于装夹原则

工艺顺序的安排：1工艺顺序安排原则：(1)先加工基准面，再加工其他表面(2)一般情

况下，先加工平面后加工孔(3)先加工主要表面，后加工次要表面(4)先安排粗加工工序，后安排精加工工序。

热处理工序及其表面的安排：(1)为改善切削性而进行的热处理安排在切削之前(2)为消

除内应力而进行的热处理安排在粗加工之后(3)为改善材料力学物理性质半精加工之后，精加工之前常安排淬火，淬火—回火，渗碳淬火(4)对高精度零件，淬火后安排冷处理以稳定零件尺寸(5)为提高零件表面耐磨性或耐腐蚀性而安排的热处理工序以及以装饰为目的而安排的处理工序安排在最后。

工艺尺寸链：(1)尺寸链在零件加工或机器装配过程中，由相互联系的尺寸形成的封闭尺寸

组(2)尺寸环：尺寸链中每一个尺寸成一个环(3)封闭环：在零件加工过程或机器装配过程中最终形成的环(或间接得到的环)(4)组成环：除封闭环以外各环，一般由加工直接得到：a曾环：变动时引起封闭环同向变动。b：减环：变动时引起封闭环反向变动(5)直接尺寸链：在工艺尺寸链中，全部组成环平行于封闭环的尺寸链称直接尺寸链。

时间定额：在一定生产条件下，规定生产一件产品或完成一道生产工序所需消耗的时间 -----------机械装配工艺规程设计---------------

装配包括：装配、调整、检验、试验等

零件：组成机器的最小单元，由整块金属或其他材料制成

套件：在一个基准零件上，装上一个或若干个零件构成的

组件：在一个基准零件上，装上若干套件及零件构成的

部件：在一个基准零件上，装上若干组件、套件和零件构成的

1.保证装备精度的装配方法：

一、互换法(1)完全互换(2)大数互换。

二、选择法(1)

直接选配法(2)分组选配法。

三、修配法(1)修配法单件修配法(2)合并加工修配法

(3)自身加工修配法。