论文题目:用于气相沉积的微波等离子技术研究
摘要:随着5G基站、云计算、数据中心等概念的提出,对光纤技术不仅提出了量的需求,也要求光纤技术发展需满足新应用的需求。光纤装备技术是光纤技术的基石,其中采用等离子体装备技术可以实现多种大容量新型光纤技术的开发,具有广泛的应用前景和重大的研究价值。本文是对新型光纤技术的微波等离子技术研究,主要研究成果如下:(1)详细阐述了光纤预制棒制造的四种方法,比较了这四种方法的优缺点,分析了PCVD技术在我国光纤制造行业的地位,也分析并总结了当前我国光纤制造公司在PCVD技术上对等离子微波系统装置的研究与改进。(2)分析了微波等离子体技术中的关键点问题,主要通过两方面,首先从微观上考虑,主要研究了等离子体的基本特性与等离子体化学反应的机理,然后宏观上考虑,引出了微波等离子体装置,重点介绍了微波等离子装置中的矩形波导与微波谐振腔。(3)通过相关仿真软件,完成了对波导与微波谐振腔的仿真,并且通过相关参数的比较,得出了波导与微波谐振腔的最佳模型,并根据模型研制出实物,替换了原有的波导与微波谐振腔。(4)通过替换原有的波导与谐振腔,完成了光纤预制棒与光纤的制造,并且通过相关测试,主要包括光纤预制棒的剖面折射率测试、光纤的几何特性测试和光纤的光学特性测试,验证了设计的微波系统装置具有很好的可行性,具有一定的经济价值与发展前景。
关键词:光纤预制棒;等离子体;化学气相沉积;微波技术;光纤测试
学科专业:电磁场与微波技术
摘要
Abstract
1 绪论
1.1 课题的研究背景
1.2 国内外研究现况
1.3 本文主要内容
1.4 本文的组织结构
2 等离子体化学气相沉积
2.1 等离子体的基本知识
2.1.1 等离子体的定义
2.1.2 等离子体的特性
2.2 等离子体的元过程
2.2.1 等离子体的碰撞过程
2.2.2 荷电粒子的消失过程
2.3 等离子体化学反应
2.3.1 低温等离子体
2.3.2 等离子无机化学反应
2.3.3 等离子化学气相沉积
2.4 本章小结
3 等离子微波放电系统研究
3.1 等离子微波放电系统
3.2 矩形波导理论分析
3.2.1 矩形波导的场
3.2.2 矩形波导的传输特性
3.3 微波谐振腔理论分析
3.3.1 谐振腔的基本参数
3.3.2 矩形谐振腔
3.3.3 圆柱形谐振腔
3.4 其他微波装置
3.4.1 微波源磁控管
3.4.2 环形器
3.4.3 三销钉调谐器
3.5 本章小结
4 微波系统的仿真与选择
4.1 有限元法与HFSS仿真
4.1.1 有限元法
4.1.2 电磁仿真软件HFSS
4.2 波导的选择
4.2.1 波导的仿真与比较
4.2.2 压缩波导的选择
4.2.3 压缩波导的优化
4.3 微波谐振腔的选择
4.3.1 微波谐振腔的仿真与比较
4.3.2 微波谐振腔的优化
4.4 本章小结
5 新型光纤性能的测试及结果分析
5.1 微波技术制造新型光纤预制棒
5.2 光纤预制棒剖面折射率测试
5.2.1 光纤预制棒剖面折射率
5.2.2 光纤预制棒剖面折射率结果分析
5.3 光纤几何特性与光学特性测试
5.3.1 几何特性与光学特性
5.3.2 光纤几何特性与光学特性结果分析
5.4 微波等离子技术评价
5.5 本章小结
6 总结与展望
致谢
参考文献
附录2 主要英文缩写语对照表
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